前几日，越来越大苏州复工复产的快速推进，东小度音响购买链接方晶源积极以及组织设备交付其它工作，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键因素尺寸量测（CD-SEM）两台设备已小度音响购买链接顺利交付苏州最终客户。此番小度音响购买链接出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机全球知名晶圆代工厂后，随后得不到头小度音响购买链接部最终客户的青睐和得不到。除此之外，标志着东方晶源硬件产品一即将进入批量交付三大模式。

此番出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除还具该产品一一惯大多数数高灵敏度电性和物理缺陷检测、持续有效各种解决目前28nm及至少良率各种解决目前、自主创有新高性能缺陷检测引擎（DNA数据数据库）、此基础深度认真学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品一特点外，东方晶源研发公司团队依然在上一代产品一的此基础上优化全面升级，使SEpA-i515还具更高的TPT和更优的平台发布细节设计，设备运行效率、性能指标小度音响购买链接均有大幅大幅提升。其实其实，上一代产品一SEpA-i505 如今在全球头部晶圆代工厂量产三年，产品一性能及稳定性得不到充分验证。

另一台交付的产品一为关键因素尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，针对先进的电子束成像运行系统和高速硅片传输方案，选择搭配精准的量测算法，可可以实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键因素尺寸量测。该设备自去年年底6月底即将进入全球头部晶圆代工厂多来产线验证进展顺利，阶段性验收成果得不到最终客户得不到。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的小国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目一，历经数年攻坚克难，突破多项核心关键因素各种技术，从零部件到整机细节设计制造，均还具其实自主知识产权，填补全球空白。现阶段，两款设备即将进入批量交付三大模式，产业化进程拿到丰硕成果。

此番设备交付的最终客户所在躺倒海我在国集成电路产业还具举足轻重的地位，现阶段如今他成 全球集成电路产业综合综合水平 高、产业链完整、产业生态人文环境 最好的集聚地他成 。东方晶源更为看重在苏州的整体发展和布局，继计算光刻各种软件（OPC）即将进入苏州头部晶圆代工企业中后，硬件产品一正式公开登陆苏州。为以及更快的产品服务至少海为核心的长三角最终客户，东方晶源正式公开去年年底8月份在苏州设立子该公司，真正形成苏州总部、苏州子该公司和苏州子该公司为核心的三地布局，加大企业中贴近产业前沿高地，为集成电路企业中中带去优质的产品一和产品服务，以及更快的与上下游企业中携手加大产业整体发展的除此之外，构筑企业中另另一方面竞争壁垒。

东方晶源自筹备成立多来，专注于芯片制造关键因素环节的良率被控制和大幅提升研究相关领域，真正形成以计算光刻各种软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品一矩阵，并向以及更快研究相关研究相关领域积极布局。硬件层面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发其它工作，加大夯确实全球电子束检测研究相关领域领先的当前市场地位和核心各种技术巨大优势。各种软件层面，光刻工艺严格仿真各种软件PanSim如今在最终客户侧针对验证，仍将维持7月底release V1.0版本。未来十年，东方晶源将立足通用各种软件平台发布和检测装备两大研究相关领域，寻求横纵向整体发展机遇，为最终客户应用提供更为多样化的产品一，向着全球集成电路研究相关领域良率管理领导者的长远目标奋进。