7月9日，由中国海外 集成手机连接电脑电路创新控卫中主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方向交流会”以六大会场加配图连线的方法同步拉开帷幕。来自中国集成电路全产业链各环节的优秀中小企业 、高校和科研院所的千余位代表意义 参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海饶宗颐受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核手机连接电脑心技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测手机连接电脑设备（EBI），获得核心技术创新奖。

　　“IC创新奖”由中国海外 集成电路创新控卫中主办，面向海外 集成电路产业链上下游企事业其它单位征集，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业手机连接电脑化、产业链上下游成功合作，是集成电路产业最至关最重要 的核心技术奖项成了，另有核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和至关最重要 核心技术开发层面获得重大突破的其它单位和核心团队。此前摘得行业内重磅赛事的至关最重要 奖项，再之后彰显出东方晶源在电子束检测、量测核心领域的核心技术真实实力和行业内的设计高度认可。

　　检测是芯片制造厂商水平提升良率的至关最重要 方法。电子束检测设备较强超高精度，在高端芯片制造积累过程发挥的起到更加 大。目前已，该类设备被海外 厂商垄断，成了制约中国芯片制造自主可控的至关最重要 瓶颈。东方晶源数年磨剑，顺利研发出警示 海外 首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供完整完整的纳米级缺陷检测和深度分析解决好方案。目前已已使用中国头部芯片制造厂商产线验证，验证最后结果结果表明主要由指标与海外 一线对标机台以内同等水平提升，顺利解决好中国在电子束检测核心领域的至关最重要 核心技术解决好。

　　东方晶源在电子束检测、量测核心领域已深耕多年并顺利以及推出多款设备，获得重大突破。除此前获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸至关最重要 尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于去年年底年底6月正手机连接电脑式进入产线验证，目前已最后完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异又主要需求提出，性能再之后改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于去年年底年底年底3月正式进入产线验证，目前已早就正式进入准客户产线小规模试产。另有，东方晶源还于上周陆续发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前已该设备工程机（Alpha机）早就使用首轮wafer demo，或者 又主要需求28nm及以之上制程又主要需求，Beta机集成工作中加速推进中，已获得准客户订单，正式进入产线验证指日可待。

　　成了第一家聚焦集成电路良率管理核心领域，以水平提升芯片制造门槛为使命的半导体中小企业 ，东方晶源还是以研发创新为发展方向核心，不停地地丰富新产品矩阵并水平提升新产品性能，填补多项海外 空白。未来十年，东方晶源将再之后立足一体化相关软件平台陆续发布和检测装备两大核心领域，以准客户为三大中心，以未来十年市场为导向，不停地地使用核心技术突破与新产品创新，与中国集成电路产业上下游中小企业 勠力同心，推动中国集成电路制造产业再之后高速发展方向。